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蚀刻加工显影中常见问题有哪些?

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浏览:- 发布日期:2018-08-21 14:04:15【
蚀刻加工显影中常见问题:

a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。显影液不足造成;

b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直,由显影时间不足造成;

c、过度显影(Over Development)。靠近表面的蚀刻胶被显影液过度溶解,形成台阶。




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